第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機(jī)
“岸然，這事我必須當(dāng)面和你說清楚，這七套設(shè)備雖然都是1.5微米制造工藝，不過其中有四臺(tái)，和其他的有些區(qū)別?！?p> 王岸然一下來了興致。
“有什么不一樣？”
“有三臺(tái)使用的是高壓汞燈i線365納米光源，而另外四臺(tái)……”
“張教授，你倒是說??！”
張大京嘴角帶著笑，指著王岸然說道：“岸然，我一直以為你比別的年輕人沉得住氣，現(xiàn)在看來，只是沒找到你感興趣的東西...
“岸然，這事我必須當(dāng)面和你說清楚，這七套設(shè)備雖然都是1.5微米制造工藝，不過其中有四臺(tái)，和其他的有些區(qū)別?！?p> 王岸然一下來了興致。
“有什么不一樣？”
“有三臺(tái)使用的是高壓汞燈i線365納米光源，而另外四臺(tái)……”
“張教授，你倒是說??！”
張大京嘴角帶著笑，指著王岸然說道：“岸然，我一直以為你比別的年輕人沉得住氣，現(xiàn)在看來，只是沒找到你感興趣的東西...