半導(dǎo)體加工工藝，本質(zhì)上就是一個在硅晶圓上，不斷曝光，蝕刻的過程。
而這個工藝的提升的過程，就是曝光時所用的底片圖案，不斷進(jìn)行增密的一個過程。
增密底片圖案，除了提高光刻機(jī)精度，就沒有別的辦法了嗎？
在我們的日常生活當(dāng)中，有個不恰當(dāng)?shù)睦?，那就是套色印?或者是彩色打印）。
三色墨水，每個打印的精度都是相同的，但是三色重合打印，單色就變成了彩色！
顏...
半導(dǎo)體加工工藝，本質(zhì)上就是一個在硅晶圓上，不斷曝光，蝕刻的過程。
而這個工藝的提升的過程，就是曝光時所用的底片圖案，不斷進(jìn)行增密的一個過程。
增密底片圖案，除了提高光刻機(jī)精度，就沒有別的辦法了嗎？
在我們的日常生活當(dāng)中，有個不恰當(dāng)?shù)睦?，那就是套色印?或者是彩色打印）。
三色墨水，每個打印的精度都是相同的，但是三色重合打印，單色就變成了彩色！
顏...