第一百八十二章 這是一場榮耀之旅（求訂閱）

　　頂尖的光刻機，還需要體積小，但是功率非常高而且要穩(wěn)定的光源。

　　以ASML的頂尖光刻機來說，其使用波長短的極紫外光，光學(xué)系統(tǒng)可以說是極復(fù)雜。

　　有頂級的鏡頭和光源，沒極致的機械精度，也是白搭。光刻機里有兩個同步運動的工件臺，一個載底片，一個載膠片。

　　兩者需始終同步，誤差在2納米以下。兩個工作臺由靜到動，加速度跟導(dǎo)彈發(fā)射差不多。

　　SMEE最好的光刻機，包含13個...