第五十一章 光源測(cè)試（下）

　　眾人回到控制室，羅陽(yáng)坐到其中一臺(tái)電腦前，說(shuō)道：

　　“測(cè)你們這種薄膜樣品，X射線要以近乎水平的角度射到硅片的邊緣。

　　需要保證每次測(cè)試時(shí)，剛好有一半的X射線被硅片擋住，另一半X射線則照射到樣品表面，與樣品發(fā)生作用，產(chǎn)生衍射信號(hào)，最終被信號(hào)收集器收集。

　　為了防止信號(hào)收集器被X射線直接照射，要在它的前面放置一枚鉛制硬幣，用來(lái)吸收絕大部分的X光。

　　現(xiàn)在我們來(lái)進(jìn)行調(diào)試?！?p>　　羅陽(yáng)一邊用編程語(yǔ)言控制測(cè)試艙內(nèi)的儀器，一邊介紹：

　　“調(diào)試過(guò)程就只是給你們講一下，不懂的話也不影響你們測(cè)試。

　　第一步，我們先把樣品臺(tái)在垂直方向，也就是z方向上，向靠近地面的方向移動(dòng)，使樣品完全沒(méi)有擋住X射線。

　　此時(shí)，檢測(cè)器上的信號(hào)強(qiáng)度是幾乎恒定的，也是它的最大值，這個(gè)極值需要記錄下來(lái)。

　　第二步，將樣品臺(tái)緩緩上升，直到檢測(cè)器上的信號(hào)強(qiáng)度開(kāi)始降低，這就表明樣品開(kāi)始擋住X射線了。

　　第三步，讓樣品臺(tái)的z坐標(biāo)，在一個(gè)較小的范圍內(nèi)線性變化，在此期間對(duì)信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行掃描，得到信號(hào)強(qiáng)度隨z坐標(biāo)變化的曲線。

　　找到信號(hào)強(qiáng)度為最大強(qiáng)度的一半左右時(shí)對(duì)應(yīng)的z坐標(biāo)，并將樣品臺(tái)移動(dòng)到此z坐標(biāo)處。

　　這個(gè)時(shí)候，對(duì)應(yīng)的就是有一半的X射線被樣品擋住的狀態(tài)。

　　第四步，我們需要標(biāo)定樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)角度，因?yàn)槲覀儾⒉恢廊肷涞腦光是否是完全平行于樣品表面的。

　　讓樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)角θ，在一個(gè)較小的角度范圍內(nèi)變化，在此期間對(duì)信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行掃描，得到信號(hào)強(qiáng)度隨θ變化的曲線。

　　找到信號(hào)強(qiáng)度最大時(shí)對(duì)應(yīng)的θ坐標(biāo)，將樣品臺(tái)的旋轉(zhuǎn)到這個(gè)角度，此時(shí)X光就是平行射到樣品側(cè)面的。

　　將此時(shí)的旋轉(zhuǎn)角手動(dòng)設(shè)為0度。

　　因?yàn)槲覀冃D(zhuǎn)了樣品臺(tái)，所以入射X光不再是被樣品擋住一半的狀態(tài)了。

　　因此需要重復(fù)第三步、第四步。

　　直至第四步樣品信號(hào)最高值處，對(duì)應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角為0度為止。

　　就像現(xiàn)在這樣，我們就完成了調(diào)試?！?p>　　“調(diào)試完成后，設(shè)置好入射角度就可以測(cè)試了，你們的入射角一般多少度？”羅陽(yáng)向陳婉清問(wèn)道。

　　“0.12度吧?！标愅袂宓馈?p>　　羅陽(yáng)在電腦中敲了一段代碼：

　　umv thita 0.12；

　　按下回車，然后道：

　　“設(shè)置好了，你們每次換了樣品后，都要看一下檢測(cè)器上的信號(hào)強(qiáng)度是不是接近最大值的一半。

　　如果偏離過(guò)大，就需要重新切光，也就是重復(fù)第三步和第四步。

　　切好光后，再把入射角改到0.12度?！?p>　　“這幾步的操作都可以在這本用戶手冊(cè)中找到，里面有個(gè)測(cè)試登記表記得要填一下?！绷_陽(yáng)將手冊(cè)遞給陳婉清，說(shuō)道：

　　“我在上面給你們留了電話，有事給我打電話，要是提前測(cè)完要離開(kāi)的話，就去總控把光關(guān)掉，然后給我發(fā)個(gè)短信就好。

　　之后的測(cè)試用軟件就可以操作了，不用我再教一遍了吧?！?p>　　“不用教了，軟件我會(huì)用的?！标愅袂宓馈?p>　　……

　　羅陽(yáng)走后，陳婉清開(kāi)心道：“這次調(diào)試算比較快了，只花了一個(gè)多小時(shí)?！?p>　　“是啊，感覺(jué)羅陽(yáng)對(duì)儀器還是比較懂的，應(yīng)該是這邊的老師吧，”許秋看了眼時(shí)間，說(shuō)道：“都快晚上十一點(diǎn)了?！?p>　　“那我們來(lái)分工吧，一個(gè)人負(fù)責(zé)換樣品，另一個(gè)人負(fù)責(zé)測(cè)試?！标愅袂宓馈?p>　　“我來(lái)?yè)Q樣品吧，體力活交給我，先測(cè)已經(jīng)裝好的1號(hào)樣品吧?！痹S秋道。

　　陳婉清點(diǎn)點(diǎn)頭，開(kāi)始操作軟件，設(shè)置好樣品名稱、文件存儲(chǔ)位置、曝光時(shí)間。

　　“測(cè)新樣品時(shí)，通常要先測(cè)曝光10秒的數(shù)據(jù)，看看得到的圖像有沒(méi)有什么問(wèn)題。

　　如果所測(cè)樣品的表面不平整，可能會(huì)造成圖像中某些區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度過(guò)高，甚至超出儀器的檢測(cè)限，這種情況就需要重新去測(cè)試艙調(diào)整樣品的位置。

　　如果圖像中沒(méi)有異常點(diǎn)出現(xiàn)，就可以把曝光時(shí)間調(diào)到100秒、200秒、300秒或其他時(shí)間。

　　只要最高信號(hào)強(qiáng)度不超過(guò)5萬(wàn)，曝光時(shí)間越高則得到的圖像質(zhì)量越好。”陳婉清道。

　　1號(hào)樣品，10秒曝光測(cè)試后，沒(méi)有異常點(diǎn)出現(xiàn)，最高信號(hào)強(qiáng)度為1000左右。

　　因?yàn)?000*（300/10)=30000，小于5萬(wàn)，所以陳婉清直接換成300秒曝光時(shí)間，再次測(cè)試。

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　　1號(hào)樣品，測(cè)試完畢。

　　2號(hào)樣品，測(cè)試完畢。

　　3號(hào)樣品，測(cè)試完畢。

　　……

　　10號(hào)樣品，出現(xiàn)了異常點(diǎn)，許秋重新打開(kāi)艙門調(diào)整了樣品位置后，重新測(cè)試，異常點(diǎn)消失。測(cè)試完畢。

　　……

　　17號(hào)樣品，再次出現(xiàn)異常點(diǎn)，許秋調(diào)整樣品位置4次后，異常點(diǎn)仍未消失，只好放棄測(cè)試該樣品。

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　　33號(hào)樣品，許秋在關(guān)艙門時(shí)，有些著急，踩到了艙門前的壓力傳感器，艙門緩緩打開(kāi)，他只好再次重新關(guān)閉艙門。

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　　43號(hào)樣品，測(cè)試完畢。

　　此時(shí)已經(jīng)是凌晨三點(diǎn)半。

　　許秋重復(fù)開(kāi)關(guān)艙門操作50多次了，他也終于知道為什么這造價(jià)十多億的設(shè)備，不需要有專業(yè)人員時(shí)刻盯著。

　　因?yàn)槎际巧倒鲜讲僮?，操作步驟雖然繁瑣，但重復(fù)個(gè)幾十次也就熟練了。

　　除非蓄意破壞儀器，不然很難對(duì)設(shè)備造成破壞。

　　跑來(lái)跑去還是比較累的，主要是每次去按搜索1的時(shí)候都要彎兩次腰，耳邊還時(shí)刻伴隨著刺耳的警報(bào)聲。

　　好在每次測(cè)試的曝光時(shí)間都比較長(zhǎng)，期間可以坐著休息一會(huì)兒。

　　這時(shí)，兩人都有些困了，他們稍微吃了點(diǎn)東西，咬咬牙繼續(xù)測(cè)試。

　　“我替你換樣品吧，你來(lái)歇一會(huì)兒?！标愅袂宓?。

　　“學(xué)姐，你會(huì)換樣品嗎？”許秋問(wèn)道。

　　“那當(dāng)然了，之前都是我一個(gè)人來(lái)測(cè)試的，換樣品、測(cè)試都是我做的?！标愅袂宓?。

　　“一個(gè)人也太辛苦了吧，其他人不來(lái)嗎？”許秋道。

　　“他們又沒(méi)有樣品，強(qiáng)行拉過(guò)來(lái)幫忙測(cè)試也不太好，主要是之前兩次都是在白天測(cè)試，所以其實(shí)還好啦?！标愅袂宓?。

　　“好的，那學(xué)姐你去吧?！霸S秋坐到了測(cè)試電腦前。

　　“嗯嗯，”陳婉清點(diǎn)頭道：“主要我想動(dòng)一動(dòng)，不然一直坐著都快睡著了。”