EUV光源的技術(shù)基本只掌握在花旗國 Cymer公司手中，星光科技公司作為一家華夏公司，基本上不可能與対方達(dá)成技術(shù)合作，因?yàn)榛ㄆ靽?，就不會同意?p> EUV光刻機(jī)——頂級科學(xué)與頂級制造的結(jié)合。
EUV波長只有13.5nm，穿透物體時散射吸收強(qiáng)度較大，這使得光刻機(jī)的光源功率要求極高，此外機(jī)器內(nèi)部需是真空環(huán)境，避免空氣對EUV的吸收，透鏡和反射鏡系統(tǒng)也極致精密，配套的抗蝕劑和防...