光刻機(jī)研發(fā)這么多年,理論體系大家都清楚,但能否用技術(shù)實(shí)現(xiàn)出來卻至關(guān)重要。
徐磊雖然率先解決了光源系統(tǒng),能夠達(dá)到很高的分辨率以及使用壽命。
可配制光刻膠卻比較棘手。
霓虹國能為海外光刻機(jī)公司提供高端光刻膠,很大程度上是借助了自身在特殊材料領(lǐng)域的發(fā)展。
國內(nèi)由于此行業(yè)底蘊(yùn)較為薄弱,以至于不少原材料都需要徐磊從零開始研發(fā),這在效率速度上自然會慢上很多。
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