當(dāng)時立憲派與革命派為改革方式發(fā)生爭執(zhí)，一開始立憲派占上風(fēng)，清廷也承諾實(shí)行立憲。1907年清廷籌設(shè)資政院，預(yù)備立憲，并籌備在各省開辦咨議局。1908年7月頒布《各省咨議局章程及議員選舉章程》，命令各省在一年之內(nèi)成立咨議局。同年頒布《欽定憲法大綱》，以確立君主立憲制政體，成立代議會。在立憲派成員的請愿下，清廷宣布把預(yù)備立憲縮短三年，預(yù)定在1913年召開國會。同年光緒帝與慈禧太后皆去世，溥儀繼位，即宣統(tǒng)帝，其父載灃擔(dān)任監(jiān)國攝政王。1911年5月清廷組成由慶親王愛新覺羅·奕劻領(lǐng)導(dǎo)的“責(zé)任內(nèi)閣”，這是中國歷史上首次君主立憲。不過，該內(nèi)閣中的很多成員為皇族身份，故被稱為“皇族內(nèi)閣”，引發(fā)立憲派的不滿和失望，很多轉(zhuǎn)向于革命派合作。
同年5月四川等地爆發(fā)保路運(yùn)動，清廷急派新軍入川鎮(zhèn)壓。10月，革命派于湖北發(fā)起武昌起義，南方各省隨后紛紛宣布獨(dú)立。清廷任命北洋新軍統(tǒng)帥袁世凱為內(nèi)閣總理大臣，成立內(nèi)閣并統(tǒng)領(lǐng)清軍。袁世凱一方面于陽夏戰(zhàn)爭壓迫革命軍，另一方面卻暗中與革命黨人談判，形成南北議和。1912年1月1日，中華民國于南京宣布立國，孫中山在南京就任臨時大總統(tǒng)。2月12日，袁世凱迫使宣統(tǒng)帝溥儀頒布退位詔書，將權(quán)力交給袁世凱政府，清朝滅亡。
后續(xù)情況
根據(jù)《清室優(yōu)待條件》，清室成員得以繼續(xù)住在紫禁城中，宮廷內(nèi)尊號、待遇、年號保持不變，保留太監(jiān)、侍衛(wèi)、宮女，保留內(nèi)務(wù)府、宗人府、慎刑司等機(jī)構(gòu)，依然稱孤道寡，封官賜謚，保持帝王氣派，與民國政府分庭抗禮，儼然國中之國，史稱“遜清小朝廷”。
日本于九一八事變占領(lǐng)中國東北，1932年扶持溥儀建立偽滿洲國，其最終隨著1945年蘇聯(lián)的八月風(fēng)暴行動而亡。
疆域
領(lǐng)土范圍
1760年，平定準(zhǔn)噶爾汗國的清朝疆域達(dá)到極盛，東北與俄羅斯帝國分界額爾古納河、格爾必齊河與外興安嶺，這條疆線直到鄂霍次克海與庫頁島；正北與沙俄分界薩彥嶺、沙畢納依嶺、恰克圖與額爾古納河；西北與哈薩克汗國等西北藩屬國分界薩彥嶺、齋桑泊、阿拉湖、伊塞克湖、巴爾喀什湖至帕米爾高原；西南與印度莫臥兒帝國、尼泊爾、不丹等國分界喜馬拉雅山至野人山；正南大致上與現(xiàn)今中華人民共和國與東南亞國家的分界相近，包含南坎、江心坡及緬甸北部等地；東與日本、琉球分界日本海與東海，與朝鮮王朝沿圖們江、鴨綠江分界；清朝還領(lǐng)有臺灣、澎湖、海南及南海的南海諸島（時稱千里石塘、萬里長沙、曾母暗沙），極盛時期總面積可達(dá)1316萬平方公里，至晚清1908年縮水至1135萬平方公里。
行政區(qū)劃
內(nèi)地
清朝內(nèi)地行政區(qū)劃
直隸省、江蘇省、安徽省、山西省、山東省、河南省
陜西省、甘肅省、浙江省、江西省、湖北省、湖南省
四川省、福建省、廣東省、廣西省、云南省、貴州省
1884年（光緒十年）置新疆省
1887年（光緒十三年）置福建臺灣省
1905年（光緒三十一年）置江淮省后旋即撤裁