在一九九六年之前，尼康和華晶約定好的第一批光刻機(jī)被運(yùn)抵了魔都。
隨同一起運(yùn)抵的，還有尼康0.5微米光刻機(jī)的詳細(xì)工藝技術(shù)。這是中國第一次，能夠完整的得到日本光刻機(jī)技術(shù)。
不僅是泛翰集團(tuán)和華晶的相關(guān)技術(shù)人員，就連中科院微電子中心以及國內(nèi)相關(guān)的科研院所，都齊集于魔都的機(jī)場。魔都虹橋機(jī)場甚至專門清理出了一條跑道，以迎接即將到來的光刻機(jī)。由于光刻機(jī)是極為精密的設(shè)備，所以其運(yùn)輸移...