尼康公司從心底里,是不愿意把納米光柵這樣的技術(shù)交給中國的。即使是光刻機(jī)成套技術(shù),其實(shí)說白了不過是一套工程技術(shù)。也許由此中國能夠自產(chǎn)0.5微米工藝的光刻機(jī)。但這并不表示中國就擁有了能夠維持研發(fā)的能力,在0.35、0.35、0.18等升級道路上,日本人一樣能夠憑借先進(jìn)的體系再次把中國人甩開。
但納米光柵技術(shù),卻是能夠促成產(chǎn)業(yè)升級的關(guān)鍵技術(shù)。雖然僅此一項(xiàng)技術(shù),只不過是產(chǎn)業(yè)升級所需要...